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E-ABR80 無動力エアベアリング回転ステージ
デザインの特徴•クラス最高の回転運動を実現し、高精度の最適化に役立ちます。プロセス•軸方向、半径方向、傾斜方向の誤差を最小限に抑え、大規模な後加工の必要性を軽減します。部品や測定データの処理•動きの質を損なうことなく、十分な耐荷重能力を提供します。•小型、軽量のため、精密システムや機械に簡単に組み込むことができます。フォームファクター、水平および垂直の取り付けおよび耐荷重能力 -
E-ABR100 無動力エアベアリング回転ステージ
●クリーンルーム対応
●動作プラットフォーム直径100mm～300mm
● 偏心率と平面度 < 100 nm
●縦置き・横置き可能です。
● デザイン上の特徴
● クラス最高の回転運動を実現し、高精度プロセスの最適化に役立ちます。
● 軸方向、半径方向、傾斜方向の動きの誤差を最小限に抑え、部品や測定データの大規模な後処理の必要性を軽減します。
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EAB-B100シリーズ 回転エアベアリングステージ
●クリーンルーム対応●縦置きでも横置きでも取り付け可能です。•ダイレクトドライブ、ロータリーエアベアリングステージ•アナログおよびデジタル位置フィードバック製品の概要クラス最高の回転運動を実現し、高精度プロセスの最適化を支援します。軸方向、半径方向、傾斜方向の動きの誤差を最小限に抑え、部品や部品の大規模な後処理の必要性を軽減します。測定データ高分解能フィードバックにより優れた位置決め性能と速度安定性を実現超精密な動作性能に貢献する、影響を与えない斬新なモーター設計を採用動きの品質を損なうことなく、十分な耐荷重能力を提供しますコンパクト、軽量のフォームファクター、横型、横型などにより、精密システムや機械に簡単に統合できます。垂直取り付けおよび耐荷重能力 -
E-ABR250 回転エアベアリングステージ
このシリーズは、最も厳しいパフォーマンスでも常に満足できるように細心の注意を払って設計されています。要件。その核となるのは、ナノメートルレベルの誤差を実現する業界をリードするエアベアリング技術です。高い剛性と耐荷重能力を備えた運動性能。•シンプルでわかりやすい統合•E-3R-NGは、優れた剛性と高い負荷容量を提供する高度なベアリング設計を特徴としています。コンパクトな全体寸法と適度に低い全体質量を維持します。これにより、E-3R-NG は理想的に使用できるようになります。多軸モーション システムおよび精密ターンキー機械のコンポーネント ステージとして。E-3R-NG ステージは、回転軸が垂直または水平方向に取り付けられる -
EAB-B250シリーズ 回転エアベアリングステージ
●クリーンルーム対応●縦置きでも横置きでも取り付け可能です。•ダイレクトドライブ、ロータリーエアベアリングステージ•アナログおよびデジタル位置フィードバック製品の概要クラス最高の回転運動を実現し、高精度プロセスの最適化を支援します。軸方向、半径方向、傾斜方向の動きの誤差を最小限に抑え、部品や部品の大規模な後処理の必要性を軽減します。測定データ高分解能フィードバックにより優れた位置決め性能と速度安定性を実現超精密な動作性能に貢献する、影響を与えない斬新なモーター設計を採用動きの品質を損なうことなく、十分な耐荷重能力を提供しますコンパクト、軽量のフォームファクター、横型、横型などにより、精密システムや機械に簡単に統合できます。垂直取り付けおよび耐荷重能力 -
E-ABW400-X 一次元エアフローティングプラットフォーム
●スキャン用途や高精度の位置決めに最適です。
●クリーンルーム対応
●モーションプラットフォームのサイズ 400mm×138mm
●移動範囲200mm～1000mm
●5nmまでの分解能
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E-ABL250-X 一次元超精密エアベアリングプラットフォーム
●スキャン用途や高精度の位置決めに最適です。
●クリーンルーム対応
●モーションプラットフォームのサイズ 250mm×90mm
●移動範囲は100mm～600mmです。
●耐荷重200Nまで
●エアベアリング設計
● E-EC-ABL-X
● 耐荷重を犠牲にすることなく、一般的なエアベアリングステージよりも断面積が小さいのが特徴です。大きな空気軸受面により優れた剛性が得られ、重い荷重にも耐えられます。独自の製造
● 技術により、比類のないピッチ、ロール、ヨー特性を備えたステージが生まれます。
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E-EC-ABL-X 一次元エア浮上モーションステージ
●完全にプリロードされたエアベアリング
●最大1000mmのトラベルまで対応可能です。
●高精度リニアエンコーダフィードバック
●完全非接触設計
● 優れた速度安定性を実現する超滑らかなデザイン
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E-ABT-XY-360X360 (セラミックリニアモーターステージ) XYエアベアリングリニアモーターステージ
セラミックバージョンは、エアフローティング構造とガイド要素として高純度アルミナを使用しています。アルミナセラミックスは御影石や金属に比べて膨張係数が小さく、真直性、硬度、耐摩耗性に優れています。
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E-EC-ABL-X 1次元エア浮上精密リニアステージ
E-EC-ABL-X シリーズ リニア モータ プラットフォームは、エア ベアリング ガイド レールと鉄心リニア モータを組み合わせた方式を採用しており、従来の機械式ガイド レールに匹敵しない真直度と平坦性を備えており、小さなステップ距離や超微小なステップに特に適しています。正確な位置決めのアプリケーションシナリオ。これは、精密な光学式デバッグ、インストール、および処理のための優れたアプリケーションの選択肢です。
●エアベアリングリニアガイドは平面度、真直度が非常に良好です。
●鉄心リニアモーターにより十分なシステム剛性と動的性能を確保
●極めて低騒音で静かで安定した動作です。
●非常に高い精度性能を持っています。
●スキャン用途や高精度の位置決めに最適です。
●クリーンルーム対応
●モーションプラットフォームのサイズ 210mm×100mm
●移動範囲200mm～500mm
● 100nmまたは1nmまでの分解能
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E-ART160 エアベアリング回転ステージ エアベアリング搭載回転ステージ
●クリーンルーム対応
●動作プラットフォーム直径180mm～300mm
●耐荷重650Nまで。
● 偏心率と平面度 < 100 nm
● 垂直または水平に取り付け可能なダイレクトドライブ回転エアベアリングステージ
● アナログおよびデジタル位置フィードバック
