製品
E-ABL250-X 一次元超精密エアベアリングプラットフォーム
リニアモータードライブ
このステージの原動力は精密ステージのブラシレス リニア サーボ モーターです。鉄のないフォーサーを使用しているため、コギングや吸引力がなく、比類のないスムーズな動作が得られます。ステージには摩擦がなく、モーターにはコギングがないため、非常に微細な解像度が達成できます。
ゼロメンテナンス
非接触エアベアリング、非接触リニアモータードライブ、および非接触フィードバックデバイスにより、機器に期待される高性能レベルでのメンテナンスフリーの長年にわたる動作が保証されます。可動要素間に機械的接触がないため、E-EC-ABL-X は時間の経過とともに摩耗したり、性能が低下したりすることはありません。耐用年数は事実上無制限で、潤滑剤を使用せず、清浄な乾燥ガスのみを使用するため、エアベアリングはクリーンルームや医療用途に最適です。
応用分野
位置決めシステムは、半導体やフラット パネル ディスプレイの製造における計測学、フォトニクス、精密スキャンなどの多くの高精度アプリケーションに最適です。
摩擦のない動きのおかげで粒子が形成されないため、ステージはクリーンルーム用途に最適です。
エンコーダ
● フィルターと空気準備キット
● 単軸および多軸モーションコントローラ
● XY セットアップと個別の構成
●御影石製ベースプレートと振動低減システム
| 仕様 | ABL250-100 | -200 | -300 | -400 | -500 | -600 |
| 有効移動量[mm] | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 |
| Opticval エンコード解像度 [nm] | 5nmのOpticvalエンコード解像度 | |||||
| 繰り返し精度 [nm] | ±50 | ±50 | ±100 | ±150 | ±200 | ±250 |
| 正確さ | 2um/100mm （校正後は0.3um/100mm未満になる可能性があります） | |||||
| 真直度[ええと] | ±0.4 | ±0.5 | ±0.6 | ±0.75 | ±1 | ±1.5 |
| 平坦度[um] | ±0.4 | ±0.6 | ±1 | ±1.5 | ||
| マックス・スピード | 2m/秒 | |||||
| 最大加速度(無負荷時) | 2G | |||||
| 耐荷重-水平[kg] | 35kg | |||||
| 耐荷重側面[kg] | 20kg | |||||
1) MOQとは何ですか?
A：MOQは1個です。
大量注文前に品質を確認するためのサンプルが用意されています。
2) OEM を受け入れますか?
A: はい、OEM および ODM は大歓迎です。
お客様のご要望に合わせて液晶モニターをカスタマイズできるのが当社の強みです。
3) あなたの会社はどのような支払い方法を受け入れますか?
A: T/T、ウェスタンユニオン、ペイパル、L/C。
4) 製品はカスタマイズ可能ですか?
A: Wお客様に究極のエンジニアリングモーションソリューションを提供します。多くの場合、これには、クライアント固有のアプリケーションや仕様に合わせて標準製品をカスタマイズまたは構成することが含まれます。当社の標準製品のカスタマイズまたは構成に興味がある場合、または当社のエンジニアリング チームと協力してフィードバック ソースのニーズを満たす独自のソリューションを設計したい場合は、当社までお問い合わせください。この速度を超えると、転流の初期化は無効になり、転流を再初期化する必要があります。
5)ガントリーステージとは何ですか?
A: ガントリー ステージは、実際の動作条件下で比類のない再現性と優れたスループットを提供するように設計されています。当社のガントリー ステージは、検査カメラ、レーザー ヘッド、または特定の顧客ツールなどのアイテムを、取り外し可能な基板またはシステムのベースに取り付けられた治具上で移動できるように設計されています。ガントリー ベースには、顧客のハードウェアをステージに接続するための取り付け穴を設けることができます。シンプルで組み立てが容易なため、要求の厳しいアプリケーション向けの機械を構築する OEMS やシステム インテグレーターにとって理想的なガントリー ステージ構成です。Dover Motion の標準ネジ駆動およびサーボ モーター リニア製品の多くは、アプリケーションに必要な精度と XYZ 運動の移動量を実現するガントリー ステージとして統合できます。
●統合を容易にする事前フォーマットされたベース。
●ベースと可動ビームの間にスペースを提供するライザー。
●ケーブルベアとハイフレックスケーブルを一体化。
●出荷前に性能と信頼性の要件が満たされていることを確認するために、すべての軸が一緒にテストされ、バーンインされています。
