理想的な平面度を得るには、設置面の平面度は 2um/300mm 以上である必要があり、エア ベアリング ガイド レールの平面度は設置基準の平面度とより大きな関係があります。 モーターは使用せず、エア ベアリング ガイドのみを使用します。