製品
E-ABT-XY-360X360 (セラミックリニアモーターステージ) XYエアベアリングリニアモーターステージ
●スキャン用途や高精度の位置決めに最適です。
●クリーンルーム対応
●移動範囲は360mm×360mmまで
●耐荷重500Nまで。
● 分解能4.88nmまたは1nm、速度500mm/s
●インクリメンタルエンコーダまたはアブソリュートエンコーダ
● アルミナセラミックバージョンも用意されており、最高の精度と性能を提供する材料ですが、価格は高くなります。
付属品とオプション
● フィルターと空気準備キット
● 追加軸
●機械ベース
●御影石製ベースプレートと振動低減システム
● チップ/チルトプラットフォームやピエゾドライブを備えた 6 軸ポジショナーなどの追加のポジショナーに適したマウント。
応用分野
位置決めシステムは、半導体やフラット パネル ディスプレイの製造だけでなく、計測学、フォトニクス、精密スキャンなどの多くの高精度アプリケーションに最適です。
長寿命、クリーンルーム対応ドラッグチェーン
E-ABT-XY-360X360 には、高品質で耐久性の高いリボン ケーブルと空気圧ホースが付属しています。広範な研究開発の結果、何百万ものメンテナンスフリーサイクルを可能にする最適化されたケーブル管理システムが誕生しました。テフロンコーティングにより粒子の発生が少ない
摩擦のない動きのおかげで粒子が形成されないため、PIglide ステージはクリーンルーム用途に最適です。
| 仕様 | 共通材質 | セラミック素材 |
| モーターの種類 | 三相鉄心モーター | |
| Opticval エンコード解像度 | sincos 4.88nm (その他のより高い解像度はオプションです) | |
| X軸 モータ推力[N] | 連続90N ピーク315N | |
| Y軸 モータ推力[N] | 連続219N※2 ピーク750N※2 | |
| X軸 無負荷加速度[g] | 4.5G | |
| Y軸無負荷加速度[g] | 3G | |
| 最小ステップサイズ[nm] | 10nm(nanopwmまたはリニアドライバ搭載) | |
| トラベル[mm] | 360×360 | |
| 再現性精度 [um] | ±0.15 | ±0.1 |
| 精度 [um] | ±0.5 | ±0.3 |
| 平坦度[um] | ±1 | ±0.5 |
| 真直度[ええと] | 1.5 | 1 |
| 最高速度 [mm/s] | 500mm/秒 | |
| 最大荷重[kg] | 50kg | |
1) 「ナノポジショニング」とは何ですか?
A: それほど遠くない昔、オートメーションにおけるベルカーブの精密なテールエンドは、口語的に市場の「マイクロポジショニング」セグメントと呼ばれることがよくありました。マイクロポジションという用語は、高精度の位置決めシステムが日常的にミクロンレベルで動作していたという事実に由来しています。この分野のメーカーは、双方向再現性、精度、安定性などの主要なシステム属性をミクロン単位で指定していました。このようなシステムは、ライフサイエンスや診断から、非接触計測、半導体、データストレージ、フラットパネルディスプレイなどの技術分野に至るまで、業界の需要を十分に満たしました。
現代に目を向けると、もはやそのようなシステムでは十分ではありません。顕微鏡やバイオテクノロジーにおける業界のニーズの進化により、精密位置決め装置メーカーには進化するレベルの性能が求められています。市場全体で関心のある機能が小さくなるにつれて、ナノメートルレベルで位置付ける能力が市場の必須事項となっています。
2) 製品は海外に発送されますか?
A: はい、当社では製品を海外に発送しており、指定地域に代理店を置いています。
3) 特定の製品の見積もりを依頼するにはどうすればよいですか?
A：メールをお送りいただければ、正式なお見積りをさせていただきます。
4) 製品はカスタマイズ可能ですか?
A: Wお客様に究極のエンジニアリングモーションソリューションを提供します。多くの場合、これには、クライアント固有のアプリケーションや仕様に合わせて標準製品をカスタマイズまたは構成することが含まれます。当社の標準製品のカスタマイズまたは構成に興味がある場合、または当社のエンジニアリング チームと協力してフィードバック ソースのニーズを満たす独自のソリューションを設計したい場合は、当社までお問い合わせください。この速度を超えると、転流の初期化は無効になり、転流を再初期化する必要があります。
5)ガントリーステージとは何ですか?
A: ガントリー ステージは、実際の動作条件下で比類のない再現性と優れたスループットを提供するように設計されています。当社のガントリー ステージは、検査カメラ、レーザー ヘッド、または特定の顧客ツールなどのアイテムを、取り外し可能な基板またはシステムのベースに取り付けられた治具上で移動できるように設計されています。ガントリー ベースには、顧客のハードウェアをステージに接続するための取り付け穴を設けることができます。シンプルで組み立てが容易なため、要求の厳しいアプリケーション向けの機械を構築する OEMS やシステム インテグレーターにとって理想的なガントリー ステージ構成です。Dover Motion の標準ネジ駆動およびサーボ モーター リニア製品の多くは、アプリケーションに必要な精度と XYZ 運動の移動量を実現するガントリー ステージとして統合できます。
●統合を容易にする事前フォーマットされたベース。
●ベースと可動ビームの間にスペースを提供するライザー。
●ケーブルベアとハイフレックスケーブルを一体化。
●出荷前に性能と信頼性の要件が満たされていることを確認するために、すべての軸を一緒にテストしてバーンインしています。.
