製品
E-ABVT-Z 垂直軸エアベアリングステージ
薄型、高精度の垂直移動ステージプラットフォーム
E-ABVT-Z 垂直ボイス モーター ステージ プラットフォームは、最大 6 kg の荷重に対してサブミクロンの分解能で高精度の Z 軸動作を提供します。垂直に取り付けられたリニアステージとは異なり、高剛性プラットフォームのコンセプトにより、ベアリングの性能や動作の真直性に影響を与える可能性のあるモーメント負荷を回避しながら、ペイロードに 360 度アクセスできる非常に低いプロファイルが可能になります。
優れた真直性と平坦な動作を実現する昇降ステージ 垂直ステージのプラットフォーム設計により、優れた真直性と平坦性が得られ、片持ち梁の荷重によって支持リニアベアリングにたわみが生じる可能性がある垂直に取り付けられたリニアポジショニングステージと比較して、ピッチおよびヨー性能が優れています。
ボイスサーボモーターによる高解像度リニアモーションE-ABVT-Z は、ボイスコイルモーターによって内部駆動され、エアフローティングトランスファーレール (クロスボールガイドレールも使用可能) を備え、高解像度グレーティングを使用して、高性能ドライバーを搭載し、位置決めステージの最小変位と再現性を確保します。素晴らしいパフォーマンスを達成します。
コンピュータ制御、ソフトウェア、プログラミング
E-ABVT-Z シリーズの Z ステージを操作するには、単軸および多軸の高性能モーション コントローラを選択できます。Precision-stage は、コミッショニングと簡単な操作のためのドライバーとソフトウェア、および一般的なプログラミング言語でのプログラム例を提供します。適合する制御電子機器の詳細については、技術仕様表のモーションおよび位置決めコントローラーの推奨事項を参照してください。
多軸ステージの組み合わせ
● E-ABVT-Z 垂直位置決めステージは、電動ロングトラベルリニアステージおよび統合された電動 XY テーブルと組み合わせて、多軸精密モーションシステムを形成できます。
● その他の昇降ステージ オプション - より長い移動距離 / より高い解像度
●インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定
●非接触光学式エンコーダは、移動プラットフォームで位置を最高の精度で直接測定します。
●非直線性、機械的遊び、弾性変形は測定に影響しません。
● E-ABVT-Z 垂直昇降ステージの応用分野
● UPL 垂直リフト ステージ ファミリは、薄型設計と高性能の動作機能に基づいており、光学検査、表面計測、半導体ウェーハなど、高い分解能と再現性を備えた非常に直線的で滑らかな垂直動作を必要とするアプリケーションに最適です。検査、高精度のデバイス調整、および高精度の機械、電気、光学部品の品質管理プロセス。
| 仕様 | ABVT-Z20 | -Z38 |
| モーターの種類 | ボイスコイルモーター | |
| Opticval エンコード解像度 | sincos 4.88nm（その他の高解像度はオプション） | |
| モーター推力 | 連続27N/ピーク119N | 連続45N/ピーク192N |
| 最小ステップサイズ[nm] | 10nm(nanopwmまたはリニアドライバ搭載) | |
| トラベル[mm] | 20 | 38 |
| 再現性精度 [um] | ±50nm | |
| 精度 [um] | ±150nm | |
| 平坦度[um] | 1um | 1.5um |
| 真直度[ええと] | 0.5um | 0.7um |
| 最高速度 [mm/s] | 50mm/秒 | |
| 最大積載量[kg] | 6kg(空気式定力ばね秤) | |
1) 配送方法は何ですか?
A：お客様のご要望に応じて商品を発送させていただきます。
通常、DHL、UPS、Fedex、TNT によって提供されます。
大量注文の場合は、空路、海路での発送も可能です。
2) あなたの会社での経験はどうですか?
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当社の工場から注文されたすべての製品は、専門の品質管理チームによって検査されます。
