ステージには、プリロードされたエアベアリングと統合されたリニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモーターが装備されています。これらの非接触コンポーネントを組み合わせることで、最高のパフォーマンス、品質、寿命を実現する摩擦のないモーション プラットフォームが実現します。
高力リニアモーターは数ミリ秒以内にステージを最高速度まで駆動でき、大容量ベアリングは最大 20 kg のペイロードをサポートできます。このモデルの横対向、アクティブにプリロードされたエア ベアリング設計により、あらゆる向きでの取り付けが可能になります。
●エンコーダ
● フィルターと空気準備キット
● 単軸および多軸モーションコントローラ
● XY セットアップと個別の構成
●ケーブルベアのバリエーション
● 垂直 (Z) 方向用のカウンターウェイト付きオプション
● カスタマイズが可能
●御影石製ベースプレートと振動低減システム
位置決めシステムは、半導体やフラット パネル ディスプレイの製造における計測学、フォトニクス、精密スキャンなどの多くの高精度アプリケーションに最適です。
摩擦のない動きのおかげで粒子が形成されないため、ステージはクリーンルーム用途に最適です。
仕様 | ABW400-200 | -300 | -400 | -600 | -800 | -1000 |
有効移動量[mm] | 200 | 300 | 400 | 600 | 800 | 1000 |
Opticval エンコード解像度 [nm] | 5nmのOpticvalエンコード解像度 | |||||
繰り返し精度 [nm] | ±100 | ±100 | ±150 | ±200 | ±300 | ±350 |
正確さ | 2um/100mm (校正後は0.3um/100mm未満になる可能性があります) | |||||
真直度[ええと] | ±0.4 | ±0.5 | ±0.6 | ±0.75 | ±1 | ±1.5 |
平坦度[um] | ±0.4 | ±0.6 | ±1 | ±1.5 | ||
マックス・スピード | 2m/秒 | |||||
最大加速度(無負荷時) | 2G | |||||
耐荷重-水平[kg] | 35kg | |||||
耐荷重側面[kg] | 20kg |
1) あなたは工場または商社ですか?
A: 私たちは中国にある工場です。
2) あなたの製品の保証期間はどのくらいですか?
A: 保証期間は 1 年間です。
3) カスタマイズされた製品サービスを提供していますか?
A: はい、ご希望のサイズ、厚さ、構造に応じて設計、製造できます。
4) 製品はカスタマイズ可能ですか?
A: 当社はお客様に究極のエンジニアリング モーション ソリューションを提供します。多くの場合、これには、クライアント固有のアプリケーションや仕様に合わせて標準製品をカスタマイズまたは構成することが含まれます。当社の標準製品のカスタマイズまたは構成に興味がある場合、または当社のエンジニアリング チームと協力してフィードバック ソースのニーズを満たす独自のソリューションを設計したい場合は、当社までお問い合わせください。この速度を超えると、転流の初期化は無効になり、転流を再初期化する必要があります。