E-ART160 エアベアリング回転ステージ エアベアリング搭載回転ステージ

製品

E-ART160 エアベアリング回転ステージ エアベアリング搭載回転ステージ

簡単な説明:

●クリーンルーム対応

●動作プラットフォーム直径180mm~300mm

●耐荷重650Nまで。

● 偏心率と平面度 < 100 nm

● 垂直または水平に取り付け可能なダイレクトドライブ回転エアベアリングステージ

● アナログおよびデジタル位置フィードバック


製品の詳細

製品の概要

よくある質問

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製品の概要

クラス最高の回転運動を実現し、高精度プロセスの最適化を支援します。 軸方向、半径方向、傾斜方向の誤差を最小限に抑え、部品や測定データの大規模な後処理の必要性を軽減します。

高分解能フィードバックにより、優れた位置決め性能と速度安定性を実現 超精密な動作性能に貢献する、影響を与えない斬新なモータ設計を特徴としています 動作品質を犠牲にすることなく、十分な耐荷重能力を提供します コンパクトなため、精密システムや機械に簡単に統合できます、軽量のフォームファクタ、水平および垂直の取り付けおよび耐荷重能力

電動回転ステージの E-ART160 は、精度、精度、高剛性、使いやすさを考慮して設計されており、あらゆる方向に取り付けることができます。

さまざまなオプションを組み合わせて、ポイントツーポイントのインデックス作成または等速スキャンに最適なソリューションを作成できます。

E-ART160 ステージは、優れた移動精度、平坦性、ウォブル性能を備えています。摩擦がなく、メンテナンスや給油が不要なため、クリーンルームでの使用に最適です。

ART160 ダイレクトドライブエアフローテーションステージ4

●トルクモーター

●ブラシレス

●スロットレス

●低コギングトルク

●付属品・オプション品

●アナログおよびデジタル位置フィードバックアブソリュートエンコーダ(オプション)

● アブソリュートエンコーダは、位置の即時決定を可能にする明示的な位置情報を提供します。

●そのため、スイッチ投入時の基準設定が不要となり、運転時の効率と安全性が向上します。

エンコーダ

ART160 ダイレクトドライブエア浮上ステージ1

● オプションのチップ/チルトプラットフォーム

● カスタム取り付けフランジ

● PIglide フィルターと空気準備キット

● 単軸または多軸のモーション コントローラおよびサーボ ドライブ

●御影石製ベースプレートと振動低減システム

応用分野

光学アライメント、計測、検査システム、キャリブレーション、スキャン。


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  • 仕様 パラメータ
    モータートルク 定格1.7Nm ピーク3.5Nm
    最高回転数 200rpm
    エンコーダ 11840ライン
    エンコーダの解像度 0.55秒(デジタル量は0.1um相当、オプションで1Vppの高分解能も可能)
    繰り返し精度 ≤±1秒
    アキシアル最大耐荷重(5bar) 650N
    ラジアル最大耐荷重(5bar) 246N
    軸方向最大剛性(5bar) 240N/um
    ラジアル最大剛性(5bar) 82N/μm
    軸方向の最大バウンス <100nm
    ラジアル最大バウンス <100nm
    空気消費量 20NL/分

    ART160 ダイレクトドライブエア浮上ステージ2

    1) MOQとは何ですか?
    A:MOQは1個です。
    大量注文前に品質を確認するためのサンプルが用意されています。

    2) 製品は海外に発送されますか?

    A: はい、当社では製品を海外に発送しており、指定地域に代理店を置いています。

    3) 特定の製品の見積もりを依頼するにはどうすればよいですか?

    A:メールをお送りいただければ、正式なお見積りをさせていただきます。

    4) 製品はカスタマイズ可能ですか?

    A: Wお客様に究極のエンジニアリングモーションソリューションを提供します。多くの場合、これには、クライアント固有のアプリケーションや仕様に合わせて標準製品をカスタマイズまたは構成することが含まれます。当社の標準製品のカスタマイズまたは構成に興味がある場合、または当社のエンジニアリング チームと協力してフィードバック ソースのニーズを満たす独自のソリューションを設計したい場合は、当社までお問い合わせください。この速度を超えると、転流の初期化は無効になり、転流を再初期化する必要があります。

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