製品
E-EC-ABL-X 一次元エア浮上モーションステージ
設計上の特徴 エアベアリング設計
E-EC-ABL-X
耐荷重を犠牲にすることなく、一般的なエアベアリングステージよりも断面積が小さいのが特徴です。大きな空気軸受面により優れた剛性が得られ、重い荷重にも耐えられます。独自の製造技術により、卓越したピッチ、ロール、ヨー特性を備えたステージが実現します。リニアモータードライブ
このステージの原動力は精密ステージのブラシレス リニア サーボ モーターです。鉄のないフォーサーを使用しているため、コギングや吸引力がなく、比類のないスムーズな動作が得られます。ステージには摩擦がなく、モーターにはコギングがないため、非常に微細な解像度が達成できます。
ゼロメンテナンス
非接触エアベアリング、非接触リニアモータードライブ、および非接触フィードバックデバイスにより、機器に期待される高性能レベルでのメンテナンスフリーの長年にわたる動作が保証されます。可動要素間に機械的接触がないため、E-EC-ABL-X は時間の経過とともに摩耗したり、性能が低下したりすることはありません。耐用年数は事実上無制限で、潤滑剤を使用せず、清浄な乾燥ガスのみを使用するため、エアベアリングはクリーンルームや医療用途に最適です。
応用分野
位置決めシステムは、半導体やフラット パネル ディスプレイの製造における計測学、フォトニクス、精密スキャンなどの多くの高精度アプリケーションに最適です。
摩擦のない動きのおかげで粒子が形成されないため、ステージはクリーンルーム用途に最適です。
エンコーダ
● フィルターと空気準備キット
● 単軸および多軸モーションコントローラ
● XY セットアップと個別の構成
●御影石製ベースプレートと振動低減システム
| 仕様 | エイブル340-500 | -1000 | ||
| モーターの種類 | 鉄心入りリニアモーター | |||
| Opticval エンコード解像度 | デフォルト 0.1um (オプションのアナログ、最大 1nm) | |||
| モーター推力 | 連続550N/ピーク1100N | |||
| 加速度（無負荷時） | 5G | |||
| トラベル[mm] | 500 | 1000 | ||
| 再現性精度 [um] | ≤±0.3um (オプションの5nmグレーティングの場合、最大±50nm) | |||
| 精度 [um] | 2um/100mm (校正後は0.5um/100mm未満になる可能性があります) | |||
| 平坦度[um] | ±0.5以下 | ≤±1 | ||
| 真直度[ええと] | ≤±0.5/20mm | |||
| 最高速度 [mm/s] | 3000(駆動、ストロークによる) | |||
| 最大積載量[kg] | 200kg | |||
1) 「ナノポジショニング」とは何ですか?
A: それほど遠くない昔、オートメーションにおけるベルカーブの精密なテールエンドは、口語的に市場の「マイクロポジショニング」セグメントと呼ばれることがよくありました。マイクロポジションという用語は、高精度の位置決めシステムが日常的にミクロンレベルで動作していたという事実に由来しています。この分野のメーカーは、双方向再現性、精度、安定性などの主要なシステム属性をミクロン単位で指定していました。このようなシステムは、ライフサイエンスや診断から、非接触計測、半導体、データストレージ、フラットパネルディスプレイなどの技術分野に至るまで、業界の需要を十分に満たしました。
現代に目を向けると、もはやそのようなシステムでは十分ではありません。顕微鏡やバイオテクノロジーにおける業界のニーズの進化により、精密位置決め装置メーカーには進化するレベルの性能が求められています。市場全体で関心のある機能が小さくなるにつれて、ナノメートルレベルで位置付ける能力が市場の必須事項となっています。
2) OEM を受け入れますか?
A: はい、OEM および ODM は大歓迎です。
お客様のご要望に合わせて液晶モニターをカスタマイズできるのが当社の強みです。
3) あなたの会社はどのような支払い方法を受け入れますか?
A: T/T、ウェスタンユニオン、ペイパル、L/C。
