製品
E-EC-ABL-X 1次元エア浮上精密リニアステージ
製品の概要
ステージには、プリロードされたエアベアリングと統合されたリニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモーターが装備されています。これらの非接触コンポーネントを組み合わせることで、最高のパフォーマンス、品質、寿命を実現する摩擦のないモーション プラットフォームが実現します。
高力リニアモーターは数ミリ秒以内にステージを最高速度まで駆動でき、大容量ベアリングは最大 10 kg のペイロードをサポートできます。このモデルの横対向、アクティブにプリロードされたエア ベアリング設計により、あらゆる向きでの取り付けが可能になります。
付属品とオプション
● エンコーダ。
● フィルターと空気準備キット。
● 単軸および多軸モーション コントローラ。
● 空気圧ロック/ロック解除オプション。
● XY セットアップと個別の構成。
●ケーブルベアのバリエーション。
● 垂直 (Z) 方向用のカウンターウェイト付きオプション。
● カスタマイズが可能です。
● 花崗岩製のベースプレートと振動を軽減するシステム。
応用分野
位置決めシステムは、半導体やフラット パネル ディスプレイの製造における計測学、フォトニクス、精密スキャンなどの多くの高精度アプリケーションに最適です。
摩擦のない動きのおかげで粒子が形成されないため、ステージはクリーンルーム用途に最適です。
| 仕様 | EC-ABL-200 | -300 | -400 | -500 |
| モーターの種類 | 鉄心入りリニアモーター | |||
| Opticval エンコード解像度 | デフォルト 0.1um (オプションのアナログ、最大 1nm) | |||
| モーター推力 | 連続90N/ピーク190N | |||
| 加速度（無負荷時） | 5G | |||
| トラベル[mm] | 100 | 200 | 300 | 400 |
| 再現性精度 [um] | ≤±0.2um (オプションの5nmグレーティングの場合、最大±50nm) | |||
| 精度 [um] | 2um/100mm (校正後は0.5um/100mm未満) | |||
| 平坦度[um] | ±0.4以下 | ±0.5以下 | ±0.7以下 | ≤±0.8 |
| 真直度[ええと] | ±0.5以下 | |||
| 最高速度 [mm/s] | 1000（駆動、ストロークによる） | |||
| 最大積載量[kg] | 10kg | |||
1) MOQとは何ですか?
A：MOQは1個です。
大量注文前に品質を確認するためのサンプルが用意されています。
2) OEM を受け入れますか?
A: はい、OEM および ODM は大歓迎です。
お客様のご要望に合わせて液晶モニターをカスタマイズできるのが当社の強みです。
3) あなたの会社はどのような支払い方法を受け入れますか?
A: T/T、ウェスタンユニオン、ペイパル、L/C。
4) 納期はどれくらいですか?
A: サンプル: 2-7 営業日。大量注文は7〜25営業日かかります。
特注品の場合、納期はご相談に応じます。
納期に間に合うように最善を尽くします。
