E-LMT145-Z(高精度ナノ電動ステージ) 立型Z軸リニアモーターステージ

製品

E-LMT145-Z(高精度ナノ電動ステージ) 立型Z軸リニアモーターステージ

簡単な説明:

● デザイン上の特徴

● 高性能のスキャンと検査向けに設計

● すべての空気軸受面にアクティブな空気プリロードを適用

● リニアエンコーダフィードバックによりサブナノメートルの分解能を実現

●重荷重に対する高い剛性と優れた幾何学的性能。

● 50 および 100 mm のトラベル付き

● 一体型カウンターバランス


製品の詳細

仕様

よくある質問

製品タグ

LMT145-Z (高精度ナノ電動ステージ) 垂直Z軸リニアモーターステージ1 (1)

高い動的性能を実現するエアベアリング設計

E-LMT145-Z には、垂直面と水平面の両方にエアオンエア プリロードが組み込まれています。反対側の薄膜圧力により、ベアリングの公称ギャップ許容差が維持されます。この設計は、荷重を広い表面積に分散する大きな空気軸受面に加えて、重い荷重やオフセット荷重に最適な優れた剛性を備えたステージを実現します。

独自の製造技術により、卓越した幾何学的特性を備えたステージが生まれ、優れたピッチ、ロール、ヨー、真直度、平面度の仕様を実現することでパフォーマンスを最大化します。

リニアモータードライブ

このステージの原動力は、Precision-stage シリーズ ブラシレス リニア サーボモーターです。鉄のないフォーサーを使用しているため、コギングや吸引力がなく、比類のないスムーズな動作が得られます。

LMT145-Z (高精度ナノ電動ステージ) 垂直Z軸リニアモーターステージ1 (3)

メンテナンス不要

LMT145-Z (高精度ナノ電動ステージ) 垂直Z軸リニアモーターステージ1 (2)

当社の完全非接触エアベアリング、非接触リニアモータドライブ、および非接触フィードバックデバイスは、機器に期待される高性能レベルでのメンテナンスフリーの長年の動作を保証します。可動要素間に機械的接触がないため、E-LMT145-Z は時間の経過とともに摩耗したり、性能が低下したりすることはありません。耐用年数は事実上無制限で、潤滑剤を使用せず、清浄な乾燥ガスのみを使用するため、エアベアリングはクリーンルームや医療用途に最適です。


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  • 仕様 LMT145-Z50 -Z100
    モーターの種類 三相鉄なしモーター
    Opticval エンコード解像度 sincos 4.88nm(その他の高解像度はオプション)
    モーター推力 定格40N ピーク90N
    最小ステップ サイズ[nm] 10nm((nanopwmまたはリニアドライバを使用))
    行程 [mm] 50 100
    再現性精度 [um] ±100nm
    精度 [um] ±300nm
    平坦度[um] 2 2.5
    真直度[ええと] 1 1.5
    最高速度 [mm/s] 200mm/秒
    最大積載量[kg] 6kg(空気式定力ばね秤)

    LMT145-Z (高精度ナノ電動ステージ) 垂直Z軸リニアモーターステージ2

    1) MOQとは何ですか?
    A:MOQは1個です。
    大量注文前に品質を確認するためのサンプルが用意されています。

    2) OEM を受け入れますか?
    A: はい、OEM および ODM は大歓迎です。
    お客様のご要望に合わせて液晶モニターをカスタマイズできるのが当社の強みです。

    3) あなたの製品の品質はどうですか?
    A: 当社は厳格な品質管理システムを持っています。
    当社の工場から注文されたすべての製品は、専門の品質管理チームによって検査されます。

    4) 製品はカスタマイズ可能ですか?

    A: 当社はお客様に究極のエンジニアリング モーション ソリューションを提供します。多くの場合、これには、クライアント固有のアプリケーションや仕様に合わせて標準製品をカスタマイズまたは構成することが含まれます。当社の標準製品のカスタマイズまたは構成に興味がある場合、または当社のエンジニアリング チームと協力してフィードバック ソースのニーズを満たす独自のソリューションを設計したい場合は、当社までお問い合わせください。この速度を超えると、転流の初期化は無効になり、転流を再初期化する必要があります。

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