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E-UMS130-X(高精度リニア電動移動ステージ)
E-UMS130-Xシリーズは、クリープ防止機能を備えた高精度クロスローラーガイドレールを採用し、リニアモーターと高分解能グレーティングスケールと連携し、小型、大荷重、低騒音の利点を備えています。アンチクリープクロスローラーガイドウェイは、細かいステップ移動が必要な用途に特に適しています。
高性能な駆動制御システムは、10nmのステップサイズで安定してステップアウトすることができます。これは、一般的なリニアガイドレールのリニアモータプラットフォームでは保証することが難しい重要な性能です。したがって、UMS130-X シリーズは、高精度の位置決め、検出、露光、および微細加工のアプリケーション シナリオに特に適しています。
●非接触ダイレクトドライブモーター、超高精度、優れた動的性能。
● 鉄のないモーター、速度変動は 1,000 分の 1 未満です (指定された種類のドライブと組み合わせて、実験室環境テスト データ)。
● マイクロステップ制御を確実にする、静かでクリープ防止のガイド レール。
●長寿命でメンテナンスフリーで長期間使用可能。
インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定
コスト効率の高いインクリメンタル エンコーダ、計測クラスのインクリメンタル エンコーダ、絶対測定エンコーダ (電源投入時のリファレンスは不要) からお選びいただけます。ステージの線形位置は、固定ベースに対する移動プラットフォームで非接触で直接測定されるため (直接計測)、モーターと親ねじの組み合わせによく見られるバックラッシュ、機械的な遊び、ドライブ トレインの変形は位置精度に影響を与えません。 。
クロスローラーガイド
クロスローラーガイドでは、ボールガイド内のボールの点接触が硬化ローラーの線接触に置き換えられます。その結果、剛性が大幅に向上し、必要なプリロードが少なくなり、摩擦が軽減され、よりスムーズな走行が可能になります。クロスローラーガイドは、高い案内精度と耐荷重性も特徴です。力によってガイドされる転動体保持器は、保持器のクリープを防止します。
多軸ステージの組み合わせ: XY と XYZ
2軸ステージと3軸ステージの組み合わせが可能です。XY テーブルは 2 つの単軸ステージを積み重ねて構築でき、重量力補正を備えたカスタム Z 軸を XYZ 移動ステージの組み合わせに使用できます。もう 1 つの Z 軸オプションは、ユーザーが調整可能な統合磁気カウンターバランスを備えた非常にコンパクトな UMS130-X 垂直リニア ステージです。
応用分野
産業と研究。計測学。半導体またはフラットパネルディスプレイ製造におけるフォトニクスと精密スキャン。
| 仕様 | UMS130-60X | -110X | -160X |
| モーターの種類 | 三相鉄なしモーター | ||
| エンコーダの種類 | インクリメンタル エンコーダ 0.1um (オプションで最大 1nm エンコーダ、アブソリュート オプション) | ||
| モーター推力 | 定格40N ピーク90N | ||
| 加速度（無負荷時） | 3G | 2.5G | 2G |
| 位置制限タイプ | 機械式、光電式、ソフトウェア式（三重制限保護） | ||
| 材料 | アルミニウム合金 6061-T6（オプションステンレス） | ||
| 移動範囲 mm | 60 | 110 | 160 |
| 精度うーん | ±3um（キャリブレーション±0.5um） | ||
| 繰り返し精度 um | ±0.1um（±50nmは5nm以上のグレーティングに相当） | ||
| 最大速度 mm/s | 300mm/秒 | ||
| 最大積載量 kg | 6 | 8 | 12 |
1) MOQとは何ですか?
A：MOQは1個です。
大量注文前に品質を確認するためのサンプルが用意されています。
2) OEM を受け入れますか?
A: はい、OEM および ODM は大歓迎です。
お客様のご要望に合わせて液晶モニターをカスタマイズできるのが当社の強みです。
3) あなたの会社はどのような支払い方法を受け入れますか?
A: T/T、ウェスタンユニオン、ペイパル、L/C。
4) 納期はどれくらいですか?
A: サンプル: 2-7 営業日。大量注文は7〜25営業日かかります。
特注品の場合、納期はご相談に応じます。
納期に間に合うように最善を尽くします。
