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  • E-SCANシリーズ製品 SCAN -1 ナノスキャニングステージ

    E-SCANシリーズ製品 SCAN -1 ナノスキャニングステージ

    μSCANシリーズ スキャニングシステムは、当社が最近発売した高性能統合システムです。機械全体は高剛性の花崗岩をベースとして使用し、高性能リニアモーターやサーボプラットフォームと連携し、主に高精度のスキャン、加工、テストなどのアプリケーションに使用されます。標準ストロークパラメータの選択により、お客様の組み合わせ不慣れによる組み合わせ不良やデバッグ不慣れによる性能不足を大幅に軽減し、短納期対応を実現します。