中空ボイスコイルミラー

カスタム設計またはプリント用に構築された高速ステアリング ミラー (FSM) には、レーザー ビームまたはその他の光源を方向付けるために傾けられるたわみサポート システムに取り付けられたミラーが組み込まれています。一連のボイス コイル アクチュエータまたは渦電流センサーを使用して、完全な精度と低ジッター機能を実現する方向の動きを提供します。

このシステムは、開ループ動作と閉ループ動作のいずれかを提供します。閉ループ動作の場合、統合された高速高精度センサーが完全なフィードバック制御システムを提供するために使用されます。FSM はモジュラー設計により、ミラー基板の選択、開口サイズ、傾斜角度、電子制御の柔軟性を高め、あらゆるミッション要件を満たすことができます。