同社は、コンパクトなパッケージで大きなたわみと大きなミラーサイズの利点を提供します。アクチュエーターは実証済みのボイスコイル技術に基づいています。内蔵の位置フィードバックにより、標準の PID コントローラーで正確に制御できます。当社の 2D ミラーの仮想回転点はミラー表面に近いため、2D スキャンが簡単になります。非共振軸2軸、または非共振軸1軸と共振軸の組み合わせをご用意しております。最初のオプションはベクトル スキャンやポイント アンド シュート アプリケーションに最適で、後者は高速ラスター スキャンに最適です。
角度範囲 | ±25mrad~±50mred | ±50mrad~±90mrad | ±90mrad~±140mrad | >±140mrad |
ミラー・スルゼ | 100mm | ≤ 75mm | 《 50mm | ≤ 25mm |
解決 | ≤2μred(RMS) | ≤5μrad(RMS) | 8ured(RMS) | ≤ 10urad(RMS) |
閉ループ帯域幅 | 50Hz~500Hz(@1%トラベル) | |||
ステップ応答 | 2ms~30ms(@1%travek) | |||
再現性 | 2ウラド 5ウラド | 5ウラド~10ウラド | &urad ~ 15μrad | 10μrad~20urad |
作業温度 | -40℃~70℃ | |||
保管温度 | 55℃~85℃ | |||
防振 | GJB 150.16A-2009 | |||
耐衝撃性 | GJB 150.18A-2009 |