FSM は、アプリケーションの特定の要件に応じて、金属 (アルミニウムまたはベリリウム) または炭化ケイ素基板を使用します。当社は、基本的な金属コーティングから高エネルギーレーザー (HEL) 用途向けに設計された高反射率の誘電体コーティングまで、事実上あらゆるコーティング要件を備えたミラーを提供できます。BlueHalo FSM は高い加速を提供します。1 ~ 2 インチクラスの FSM では >10,000 ラジアン/秒2。当社の FSM は高帯域幅 (サイズに応じて光または位置 >1 kHz) を実現し、<1 µrad の低ジッターを実現します。
ミラーサイズ | 4インチ | 6インチ | 8インチ | 10インチ | >10インチ | 4インチ | 6インチ | 8インチ | 10インチ | >10インチ |
解決 | 1~3μrad | 3~5μrad | 1~3μrad | |||||||
閉ループ帯域幅 | 100~300Hz(@1%トラベル) | 10 ~ 200Hz(@1%トラベル) | ||||||||
ステップ応答 | 4~10ms(@1%travel) | 3 ~ 30ms(@1%travel) | ||||||||
角度範囲 | ≤ ±25mrad | |||||||||
再現性 | ≤±5μrad | ≦±3 ~ ±10μrad | ||||||||
動作温度 | -40℃ ~ 70℃ | |||||||||
保存温度(℃) | -55℃ ~ 85℃ | |||||||||
防振 | GJB 150.16A-2009 | |||||||||
耐衝撃性 | GJB 150.18A-2009 |