E-LMT-XYZ（高精度リニアモーターXYZ軸ステージ）

真直性と動作の平坦性に優れた昇降ステージ

垂直ステージプラットフォームの設計により、優れた真直性と平坦性が得られ、ピッチとヨーが向上します。

片持ち梁の荷重によって引き起こされる可能性がある、垂直に取り付けられたリニア位置決めステージと比較したパフォーマンス

支持リニアベアリングのたわみ。

ボイスサーボモーターによる高分解能リニアモーションE-ABVT-Zはボイスコイルモーターにより内部駆動され、

エアフローティング搬送レール（クロスボールガイドレールも使用可能）を採用し、高分解能グレーティングを使用して密閉します。

高性能ドライバーを搭載し、最小変位と再現性を確保。

位置決めステージ。素晴らしいパフォーマンスを達成します。

コンピュータ制御、ソフトウェア、プログラミング

製品の詳細