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E-LMT-XYZ（高精度リニアモーターXYZ軸ステージ）
真直性と動作の平坦性に優れた昇降ステージ垂直ステージプラットフォームの設計により、優れた真直性と平坦性が得られ、ピッチとヨーが向上します。片持ち梁の荷重によって引き起こされる可能性がある、垂直に取り付けられたリニア位置決めステージと比較したパフォーマンス支持リニアベアリングのたわみ。ボイスサーボモーターによる高分解能リニアモーションE-ABVT-Zはボイスコイルモーターにより内部駆動され、エアフローティング搬送レール（クロスボールガイドレールも使用可能）を採用し、高分解能グレーティングを使用して密閉します。高性能ドライバーを搭載し、最小変位と再現性を確保。位置決めステージ。素晴らしいパフォーマンスを達成します。コンピュータ制御、ソフトウェア、プログラミング -
E-NFZ240-Zシリーズ（Z軸高精度リニアモーターステージ）
● デザイン上の特徴
● 高性能のスキャンと検査向けに設計
● すべての空気軸受面にアクティブな空気プリロードを適用
● リニアエンコーダフィードバックによりサブナノメートルの分解能を実現
●重荷重に対する高い剛性と優れた幾何学的性能。
● 50 および 100 mm のトラベル付き
● 一体型カウンターバランス
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E-LMT145-Z（高精度ナノ電動ステージ） 立型Z軸リニアモーターステージ
● デザイン上の特徴
● 高性能のスキャンと検査向けに設計
● すべての空気軸受面にアクティブな空気プリロードを適用
● リニアエンコーダフィードバックによりサブナノメートルの分解能を実現
●重荷重に対する高い剛性と優れた幾何学的性能。
● 50 および 100 mm のトラベル付き
● 一体型カウンターバランス
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E-リニアモーターステージおよびコントローラー ELMT-MINIXY
ELMT-MINIXY シリーズは、非常にコンパクトな寸法と優れた動的性能を備えており、スペースのサイズに敏感なユーザーに特に適しています。同時に、より大きなストロークとより高精度のアプリケーションシナリオが期待されています。
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E-SST160-Z50 Z軸ステッピングモーター昇降テーブル
●上下可動範囲25または30mm
● 100nmまでの最小ステップ
●耐荷重6kgまで
●直接測定リニアエンコーダオプション
●ステッピングモーター駆動
●クロスボールレール
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E-LMT-XY（高精度リニアモーターステージ） XYリニアモーターモーションステージ
●移動範囲 100mm×100mmまたは200mm×200mm
● 0.3 μmまでの一方向の繰り返し精度
●鉄筋レス三相リニアモーター
● 速度は 500 mm/s インクリメンタルまで
●分解能4.88nmのリニアエンコーダ
●クロスローラーガイド
●リニアモーター
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E-ABVT-Z 垂直軸エアベアリングステージ
●垂直方向の可動範囲 20 または 38mm (1/2 インチ)
● 10nmまでの位置繰返し精度
●耐荷重6kgまで
●直接測定リニアエンコーダオプション
●ボイスモータードライブ
●エアベアリングレール、クロスボールレールも使用可能
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E-GLMT-XY（高精度リニアモータステージ） XYリニアモータステージ
●リニアモーター
●リニアモータは電磁ダイレクトドライブです。ドライブトレイン内の機械コンポーネントを省略し、駆動力を直接、摩擦なくモーション プラットフォームに伝達します。ドライブは高速および加速度に達します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度が最も要求される位置決めタスクに特に適しています。これにより、低速域でもスムーズな走行が可能となり、同時に高速域でも振動が発生しません。制御動作の非線形性が回避され、任意の位置を簡単に制御できます。駆動力を自由に設定できます。
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E-TRI-R5 3軸平行レベリングプラットフォーム
3 自由度のパラレルキネマティック設計により、シリアルキネマティック システムよりも大幅にコンパクトで剛性が高く、より高いダイナミクス、ケーブルの移動がないため、信頼性が高く、摩擦が低減されます。
