新しい XY ステージ設計により、直交性、真直度、平面度などの重要な要素を最適化できるため、非常に優れた幾何公差を備えたステージが実現します。コアレス リニア サーボ モーターを使用したダイレクト ドライブ テクノロジーにはヒステリシスやバックラッシュがなく、X 方向と Y 方向の両方で正確かつ再現可能なナノメートル スケールの動作が可能です。
非接触ダイレクトドライブ技術により、精密機器の量産に必要な堅牢かつ正確かつ高速な位置決めを実現します。これらのXYステージは、高度なダイレクトドライブ技術を採用し、最高レベルの位置決め性能を実現します。非接触リニアエンコーダにより正確な位置決めを保証します。モーターとエンコーダを直結することでバックラッシを排除しています。
特徴としては以下が挙げられます
★ダイレクトドライブリニアモーター
★0.1ミクロンまでの解像度
★0.25ミクロンまでの再現性
★5ミクロンまでの絶対精度
★最高速度 1.5m/秒
★最大加速度 1.5G
★作動距離 300 x 300 mm
ドライブとベアリングの組み合わせは、小さな外形と設置面積にパッケージ化されており、高精度の位置決め、ディスクドライブの製造、ファイバーの位置合わせ、光遅延素子の作動、センサーのテスト、スムーズでスムーズな動作が要求されるスキャンプロセスなど、多くのアプリケーションで明白な利点を提供します。正確な動き。これらのステージは、他の垂直ステージや回転ステージと組み合わせることもできます。
投稿日時: 2023 年 2 月 5 日