- パート2

リニアサーボモーターを搭載した高性能XYステージ
管理者による、2005 年 2 月 23 日
新しい XY ステージ設計により、直交性、真直度、平面度などの重要な要素を最適化できるため、非常に優れた幾何公差を備えたステージが実現します。コアレスリニアサーボモーターを使用したダイレクトドライブテクノロジーには、ヒステリシスやバックラッシュがなく、...
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