新しい統合 XY ステージ - コンパクトな高速位置決めステージの一部。
これらの位置決めステージはすべて、超音波ピエゾリニア モーターによって駆動されます。このモーターは、滑らかな動き、高解像度、迅速なステップおよびセトリング応答を実現する特許取得済みのモーターです。
また、モーターには、電源を使わずにプラットフォームを所定の位置にロックするセルフクランプ ドライブも搭載されており、位置の安定性と低消費電力が重要な用途に役立ちます。
ロングトラベルとコンパクトな構造で広いダイナミックレンジを補完
ELMTMINI XY ステージは、1 軸あたり 0.8 インチの移動量を実現し、設置面積は 42 x 42 mm (1.6 x 1.6 インチ) です。21 mm の薄型設計と小型設計により、狭いスペースにも簡単に組み込むことができます。高分解能 (10 ナノメートル リニア エンコーダ) に加えて、最大 200 mm/秒の高速動作と迅速なステップ整定性能を提供します。
ハイエンドのモーションコントローラーとソフトウェアパッケージ
高分解能とスムーズな動作を維持しながら、ミリ秒範囲の整定時間で優れた動的性能を提供する動作原理を活用するために、超音波モータは、複数の静的および動的 PID パラメータ セットと適応周波数間の自動切り替えなどの高度な制御戦略の恩恵を受けます。追跡。PI は、多数の超音波モーション コントローラを提供しています (デスクトップ、ラックマウント、および OEM 構成で利用可能です。モーション コントロール アルゴリズムを含む ASIC チップも OEM 顧客向けに提供されています。LabVIEW 用のドライバとサンプル プログラム、 Windows および Linux 用のダイナミック ライブラリ、MATLAB が利用可能で、インターフェイスには TCP/IP、USB、RS-232、アナログが含まれます。
超音波ミニリニアステージファミリー仕様
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投稿時間: 2023 年 4 月 12 日