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E-SCANシリーズ製品 SCAN -1 ナノスキャニングステージ
μSCANシリーズ スキャニングシステムは、当社が最近発売した高性能統合システムです。機械全体は高剛性の花崗岩をベースとして使用し、高性能リニアモーターやサーボプラットフォームと連携し、主に高精度のスキャン、加工、テストなどのアプリケーションに使用されます。標準ストロークパラメータの選択により、お客様の組み合わせ不慣れによる組み合わせ不良やデバッグ不慣れによる性能不足を大幅に軽減し、短納期対応を実現します。
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E-LMT-XY（高精度リニアモーターステージ） XYリニアモーターモーションステージ
●移動範囲 100mm×100mmまたは200mm×200mm
● 0.3 μmまでの一方向の繰り返し精度
●鉄筋レス三相リニアモーター
● 速度は 500 mm/s インクリメンタルまで
●分解能4.88nmのリニアエンコーダ
●クロスローラーガイド
●リニアモーター
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E-ABW400-X 一次元エアフローティングプラットフォーム
●スキャン用途や高精度の位置決めに最適です。
●クリーンルーム対応
●モーションプラットフォームのサイズ 400mm×138mm
●移動範囲200mm～1000mm
●5nmまでの分解能
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E-ABVT-Z 垂直軸エアベアリングステージ
●垂直方向の可動範囲 20 または 38mm (1/2 インチ)
● 10nmまでの位置繰返し精度
●耐荷重6kgまで
●直接測定リニアエンコーダオプション
●ボイスモータードライブ
●エアベアリングレール、クロスボールレールも使用可能
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E-ABL250-X 一次元超精密エアベアリングプラットフォーム
●スキャン用途や高精度の位置決めに最適です。
●クリーンルーム対応
●モーションプラットフォームのサイズ 250mm×90mm
●移動範囲は100mm～600mmです。
●耐荷重200Nまで
●エアベアリング設計
● E-EC-ABL-X
● 耐荷重を犠牲にすることなく、一般的なエアベアリングステージよりも断面積が小さいのが特徴です。大きな空気軸受面により優れた剛性が得られ、重い荷重にも耐えられます。独自の製造
● 技術により、比類のないピッチ、ロール、ヨー特性を備えたステージが生まれます。
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E-EC-ABL-X 一次元エア浮上モーションステージ
●完全にプリロードされたエアベアリング
●最大1000mmのトラベルまで対応可能です。
●高精度リニアエンコーダフィードバック
●完全非接触設計
● 優れた速度安定性を実現する超滑らかなデザイン
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E-NLS92-50-1V-Bリニアモーターモーションステージ 高精度リニアステージ
●LS90-50-1V-Bの特徴。
●超薄型リニアモーター駆動です。ストローク50mm。
●非常に小さいサイズ、プロファイル 122mm x 92mm x 18mm。
● 最小増分動作は 50 nm。
● 繰り返し位置決め精度: ≤100nm;
● 格子分解能 1nm (1vpp)。
●定格推力5N、ピーク推力16N。
●輸入クロスガイドレール。
●最大荷重：4Kg。
● スムーズな連続動作、工業グレードの耐用年数。
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E-ABT-XY-360X360 (セラミックリニアモーターステージ) XYエアベアリングリニアモーターステージ
セラミックバージョンは、エアフローティング構造とガイド要素として高純度アルミナを使用しています。アルミナセラミックスは御影石や金属に比べて膨張係数が小さく、真直性、硬度、耐摩耗性に優れています。
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E-GLMT-XY（高精度リニアモータステージ） XYリニアモータステージ
●リニアモーター
●リニアモータは電磁ダイレクトドライブです。ドライブトレイン内の機械コンポーネントを省略し、駆動力を直接、摩擦なくモーション プラットフォームに伝達します。ドライブは高速および加速度に達します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度が最も要求される位置決めタスクに特に適しています。これにより、低速域でもスムーズな走行が可能となり、同時に高速域でも振動が発生しません。制御動作の非線形性が回避され、任意の位置を簡単に制御できます。駆動力を自由に設定できます。
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E-EC-ABL-X 1次元エア浮上精密リニアステージ
E-EC-ABL-X シリーズ リニア モータ プラットフォームは、エア ベアリング ガイド レールと鉄心リニア モータを組み合わせた方式を採用しており、従来の機械式ガイド レールに匹敵しない真直度と平坦性を備えており、小さなステップ距離や超微小なステップに特に適しています。正確な位置決めのアプリケーションシナリオ。これは、精密な光学式デバッグ、インストール、および処理のための優れたアプリケーションの選択肢です。
●エアベアリングリニアガイドは平面度、真直度が非常に良好です。
●鉄心リニアモーターにより十分なシステム剛性と動的性能を確保
●極めて低騒音で静かで安定した動作です。
●非常に高い精度性能を持っています。
●スキャン用途や高精度の位置決めに最適です。
●クリーンルーム対応
●モーションプラットフォームのサイズ 210mm×100mm
●移動範囲200mm～500mm
● 100nmまたは1nmまでの分解能
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E-LMS250GT-X（リニア位置決めステージ） 1次元リニアモーターモーションステージ
E-LMS250GT-Xリニアモータプラットフォームは、高品質御影石をベースに、高剛性リニアローラガイドレールと鉄心リニアモータを採用しています。
平面度、真直度、耐荷重に優れており、大型移動測位装置の基本モジュールとして広く使用されています。
●御影石ベース、剛性と安定性が良く、平面度が高いです。
●C-LUBE技術を採用したリニアガイドレール、無給油サイクル最長5年です。
●高効率、非接触モーター、高速かつ超高速安定性を実現します。
●ストローク延長と可搬質量に優れています。
●顧客の生産要件に基づいた短納期。
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E-NLS60-32-1V-B NLS超薄型ミニリニアモーションステージ
● NLSシリーズは、高分解能グレーティングと
●精密クロスローラーガイド、ミニ
●小型サイズでもUMSシリーズと同様の高精度、高ダイナミックスを実現しています。特に、音量に非常に敏感な一部のアプリケーション シナリオに適しています。
●非接触ダイレクトドライブモーター、超高精度、優れた動的性能
●鉄筋レスモータ、速度変動は1000分の1以下（指定ドライブとの組み合わせ、実験室環境試験データ）
● マイクロステップ制御を確実にする、静かでクリープ防止のガイド レール
●長寿命でメンテナンスフリーで長期間使用可能です。
